Os medidores de vazão térmicos usam o princípio da difusão térmica. A tecnologia de difusão térmica é uma tecnologia com excelente desempenho e alta confiabilidade em condições adversas. Os medidores de vazão térmicos possuem dois sensores de temperatura colocados no gás, um dos quais é aquecido a uma temperatura acima da temperatura dos fluidos e o outro sensor de temperatura é usado para detectar a temperatura do gás. À medida que a taxa de fluxo de gás aumenta, o calor retirado pelo gás aumenta e a diferença de temperatura entre os dois sensores de temperatura mudará com a alteração da taxa de fluxo de gás. De acordo com a relação proporcional entre a diferença de temperatura e a vazão média, a vazão do gás. O medidor de fluxo de massa térmica é uma escolha perfeita para medidor de fluxo de gás de medição de pressão de baixo fluxo.
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