Controlador de fluxo de massa N2

Na produção industrial, o nitrogênio (N2) é um dos gases de proteção, purga e arraste mais utilizados. Para obter um uso preciso, estável e reproduzível de nitrogênio, é necessário um Controlador de Fluxo de Massa de Nitrogênio (N2 MFC).

Aqui você entenderá rapidamente sua finalidade, princípios e parâmetros principais, facilitando a escolha do controlador de fluxo de massa de N2 adequado.

Onde os controladores de fluxo de massa de N2 são comumente usados?

• Os controladores de fluxo de massa de nitrogênio são amplamente utilizados nas seguintes situações:
• Indústria de semicondutores e fotovoltaica: Controle preciso do fluxo de nitrogênio em processos de deposição de filmes finos (CVD/PVD), forno de difusão, corrosão e recozimento.
• Corte e soldagem a laser: como gás auxiliar, o controle da estabilidade do fluxo de nitrogênio afeta diretamente a qualidade da seção de corte.
• Embalagem de alimentos (embalagem em atmosfera modificada MAP): proporção precisa de nitrogênio no enchimento da máquina de embalagem.
• Produção de baterias de lítio: fornecimento de nitrogênio para a sala de secagem de células e oficina de injeção.
• Forno de tratamento térmico: controle da proporção de mistura de nitrogênio, hidrogênio e argônio em tratamento térmico em atmosfera controlada.
• Instrumentos de laboratório e analíticos: gás de arraste e gás de purga para cromatografia gasosa (GC) e espectrometria de massa.
• Reator químico: proteção com gás inerte e deslocamento do reator.
• Impressão 3D (fabricação aditiva de metal): manutenção de atmosfera de nitrogênio na câmara de formação.

Se o seu processo exigir uma vazão de nitrogênio "repetível e não afetada por flutuações de temperatura e pressão", então um controlador de fluxo de massa é mais adequado do que os medidores de vazão de rotor e os medidores de vazão de bóia tradicionais.

Princípio de funcionamento do controlador de fluxo de massa de N2

O controlador de fluxo de massa de N2 convencional adota o princípio térmico (difusão térmica capilar).

Em termos simples, o processo de funcionamento envolve uma pequena quantidade de nitrogênio fluindo através do tubo capilar do sensor, que é revestido por dois conjuntos de fios de resistência de aquecimento. Quando o gás flui, ele absorve calor, causando uma mudança na diferença de temperatura entre os resistores a montante e a jusante, que é proporcional à vazão mássica. O controlador compara o sinal do sensor com o valor definido e, em seguida, aciona a válvula proporcional eletromagnética para ajustar a abertura até que a vazão real seja igual à vazão definida.

As vantagens do princípio térmico são:

• Meça diretamente a vazão mássica (em sccm, slm, kg/h) sem a necessidade de compensação adicional de temperatura e pressão.
• Ampla faixa de relação de transmissão, controle preciso mesmo para vazões baixas.
• Resposta rápida, geralmente estável em 1 a 2 segundos.

Essa é também a maior diferença entre ele e um "medidor de vazão volumétrica" ​​- a taxa de fluxo de massa não sofrerá deriva devido a mudanças na temperatura e pressão do local.

Principais parâmetros técnicos dos controladores de fluxo de massa de N2

Ao selecionar, recomendamos fornecer as seguintes informações para facilitar nossa recomendação de modelos adequados:

• Seu aplicativo real
• Faixa de vazão máxima e mínima real
• Pressão de entrada e contrapressão de saída
• Pureza do gás (nitrogênio comum ou nitrogênio de alta pureza)
• Você precisa de uma interface de comunicação (acoplamento de PLC)?
• Dimensões da interface e método de instalação

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