O medidor de vazão mássica de baixa vazão da série SRK-DL e o controlador de vazão podem medir taxas ultrabaixas de gás tão baixas quanto 2 sccm (2 ml/min). O medidor de vazão ultrabaixa é comumente usado em várias aplicações, como cromatografia gasosa, análise de gás, pesquisa laboratorial e processos industriais onde medições precisas de vazão de gás são necessárias, ele pode ser usado como medidor de vazão baixa de oxigênio, medidor de vazão de ar de baixa vazão, medidores de vazão para aplicações de vazão baixa de nitrogênio (N2), medidor de vazão muito baixa de biogás, medidor de vazão ultrabaixa para CO2, etc.
Medidor de vazão de gás térmico de baixo fluxo/controlador de vazão Princípio de funcionamento
O controlador de fluxo de massa de baixa vazão consiste em um sensor de fluxo de massa de baixa vazão, um dispositivo de camadas de fluxo laminar, uma válvula reguladora de controlador de fluxo e um circuito de controle de amplificação. Ele é feito usando o efeito de distribuição de transferência de calor do fluido fluindo para alterar a distribuição de temperatura da parede capilar medida. Este controlador de fluxo de massa de baixo fluxo usa o princípio da calorimetria de temperatura diferencial antes e depois da transferência de calor capilar para medir o fluxo de massa de gás tão baixo quanto 2 sccm, independente da temperatura e pressão. Amplifique o sinal de fluxo medido pelo sensor e, em seguida, compare-o com a tensão definida. Use a diferença para acionar a válvula reguladora de controle e controle de malha fechada o fluxo através do canal para torná-lo igual ao fluxo definido.
Especificações do medidor de vazão/controlador de vazão de baixo fluxo
Faixa de fluxo de gás: 2 SCCM ~ 30 SL/M, como 100 ml/min, 200 sccm, 1 LPM, 2 SLM, 5 litros/minuto, 20 SLPM.
Taxa de redução: 50:1 para controlador de fluxo de massa digital; 100:1 para medidor de fluxo de massa digital;
Precisão: ± 1% FS
Linearidade: ± 0,5% FS
Repetibilidade:± 0,2% FS
Tempo de resposta: controlador de fluxo de massa < 2s; medidor de fluxo de massa < 0,8s
Comunicação: RS232/485.MODBUS
Saída: 0~5V,4-20mA,1-5V
Fonte de energia: ±15 VCC,24 VCC
Temperatura de operação: 0~50°C
Pressão máxima de operação: 3MPa/10MPa
Material do sensor de fluxo de massa ou controlador de fluxo: Aço inoxidável
Conexão de processo do medidor de vazão de baixo fluxo: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
