O medidor de fluxo de massa de baixo fluxo e o controlador de fluxo da série SRK-DL podem medir taxas ultrabaixas de gás tão baixas quanto 2 sccm (2 ml/min). O medidor de vazão ultrabaixo é comumente usado em várias aplicações, como cromatografia gasosa, análise de gases, pesquisa laboratorial e processos industriais onde são necessárias medições precisas de vazão de gás, pode ser usado como medidor de vazão baixa de oxigênio, medidor de vazão de ar de baixa vazão, vazão medidores para aplicações de baixo fluxo de nitrogênio (N2), medidor de vazão muito baixa de biogás, medidor de vazão ultrabaixa para CO2, etc.
Medidor de fluxo de gás térmico de baixo fluxo/controlador de fluxo Princípio de funcionamento
O controlador de fluxo de massa de baixa vazão consiste em um sensor de fluxo de massa de baixo fluxo, um dispositivo de estratificação de fluxo laminar, uma válvula reguladora do controlador de fluxo e um circuito de controle de amplificação. É feito usando o efeito de distribuição de transferência de calor do fluido que flui para alterar a distribuição de temperatura da parede capilar medida.
Este controlador de fluxo de massa de baixo fluxo usa o princípio da calorimetria de temperatura diferencial antes e depois da transferência de calor capilar para medir o fluxo de massa de gás tão baixo quanto 2 sccm, independente da temperatura e pressão. Amplifique o sinal de fluxo medido pelo sensor e compare-o com a tensão definida. Use a diferença para acionar a válvula reguladora de controle e controle em malha fechada o fluxo através do canal para torná-lo igual ao fluxo definido.
Especificações do medidor de vazão/controlador de fluxo de baixo fluxo
- Faixa de fluxo de gás: 2 SCCM ~ 30 SL/M, como 100 ml/min, 200 sccm, 1 LPM, 2 SLM, 5 litros/minuto, 20 SLPM.
- Relação de redução: 50:1 para controlador digital de fluxo de massa; 100:1 para medidor digital de vazão de massa;
- Precisão : ± 1% FS
- Linearidade : ± 0,5% FS
- Repetibilidade:± 0,2% FS
- Tempo de Resposta: controlador de fluxo de massa < 2s; medidor de fluxo de massa <0,8s
- Comunicação: RS232/485.MODBUS
- Saída: 0 ~ 5 V, 4-20 mA, 1-5 V
- Fonte de energia : ±15VCC,24VCC
- Temperatura de operação: 0~50°C
- Pressão máxima de operação: 3MPa/10MPa
- Sensor de fluxo de massa ou material do controlador de fluxo : Aço inoxidável
- Conexão do processo do medidor de vazão de baixa vazão: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
